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碳化硅晶體生長爐 SiC Crystal Growth

  • 世界上第一款200mm SiC晶體生長爐

     世界上第一款200mm SiC晶體生長爐

    電感加熱式物理氣相傳輸SiC生長爐

    雙壁水冷石英管

    商業培訓2英寸,100mm或150mm晶圓工藝

    高溫計控制和電源控制,保證生長爐穩定運行

    自動PLC控制,帶工藝,觸屏,安全互鎖/警報等功能

    遠程監測和控制

    占地空間最小的SiC生長爐

     

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